Bayreuth 1998 – wissenschaftliches Programm
Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe
P: Plasmaphysik
P 4: Entladungen I
P 4.4: Vortrag
Montag, 9. März 1998, 15:00–15:15, H 6
Ein großvolumiges ECR–Plasma: Modellrechnungen und erste Meßergebnisse — •D. Hemmers1, M. David1, H. Kempkens1, S. Ostrowski1, H. B. Schweer2, J. Winter3 und J. Uhlenbusch1 — 1Inst. für Laser– und Plasmaphysik, HHU Düsseldorf, Universitätsstr. 1, 40225 Düsseldorf — 2Inst. für Plasmaphysik, FZ Jülich — 3Inst. für Experimentalphysik II, RU Bochum
ECR–Entladungen fanden in den letzten Jahren aufgrund ihrer günstigen
Eigenschaften in zunehmendem Maße Anwendung in industriellen
Fertigungsprozessen. Zur
Untersuchung des Zusammenhangs der Eigenschaften des Volumenplasmas mit den
Schichteigenschaften auf einer Targetoberfläche
wurde eine ECR–Entladung (Durchmesser 180 mm, Länge 1.6 m)
aufgebaut und in Betrieb genommen. Es konnten Plasmen
in den Arbeitsgasen Ar, He und O2 bei Mikrowellenleistungen
von 600 W bis 2400 W und Drücken von 0.1 Pa bis 1.0 Pa erzeugt werden.
Um erste Anhaltspunkte über den Plasmazustand zu erhalten, wurden
Sondenmessungen und aktinometrische Messungen der Elektronentemperatur
durchgeführt, die durch Thomsonstreulichtmessungen sowie Messungen mit
einem Li–Atomstrahl ergänzt werden sollen.
Die Meßdaten des Argonplasmas werden mit den Ergebnissen einer
Modellrechnung verglichen, die die selbstkonsistente
Berechnung von Elektronendichte und
–temperatur sowie des Mikrowellenfeldes
in zwei Raumdimensionen ermöglicht. Die Arbeiten wurden vom SFB 191
(Niedertemperaturplasmen, Teilprojekt A9) gefördert.