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P: Plasmaphysik

P 4: Entladungen I

P 4.5: Talk

Monday, March 9, 1998, 15:15–15:30, H 6

Plasmadiagnostische Sondenmessungen an einer HF-Ionenquelle bei gleichzeitiger Untersuchung der extrahierten Ionen — •Peter Fahrenbach, Klaus Groh und Horst Löb — I. Physikaisches Institut der Justus-Liebig-Universität Giessen, Heinrich-Buff-Ring 16, 35392 Giessen

Die Plasmadaten einer Hochfrequenz-Entladung wie Ionendichte, Elektronentemperatur und Plasmapotential wurden bei variierten Extraktionsbedingungen der Ionenquelle mit zwanzig Einzel- und Doppelsonden an unterschiedlichen Positionen im Ionisator gemessen und mit Messungen ohne Extraktion verglichen. Zeitgleich wurde in einer Entfernung von 10 cm zum Extraktionsgitter Messungen der Strahldichteverteilung und der Strahlenergieverteilung aufgenommen. Durch die gemessenen Startzustände der Ionen bei dem Eintritt in den Extraktionskanal lassen sich die Ionenbahnen simulieren. Durch die Berechnung des Umladungsverhaltens des neutralisierten Ionenstrahls nach dem Gittersystem kann ein Vergleich der Ionendichte im Ionisator und an dem Strahlauffänger durchgeführt werden. Die gemessene Strahlenergieverteilung kann nochmals Aufschluß über die Ionenbewegung vor dem Eintritt in den Extraktionskanal und das Plasmapotential geben.

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