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P: Plasmaphysik

P 8: Theorie I

P 8.3: Talk

Tuesday, March 10, 1998, 10:15–10:30, H 14

Numerische Modellierung von HF-Schicht und HF-Entladungen — •Hans-Burkhard Valentini — Institut f"ur Physikalische Hochtechnologie, 07702 Jena

Zwei verh"altnism"a"sig einfache und gleichzeitig verh"altnism"a"sig genaue numerische Verfahren zur Beschreibung von HF-Entladungen mit Mehrfl"ussigkeitsmodellen werden angegeben. Das zugrundeliegende System partieller Differentialgleichungen wird in einen Satz gew"ohnlicher Differentialgleichungen "uberf"uhrt. Im schwach nichtlinearen Fall wird eine Kombination von Fourierreihen und Taylorentwicklungen verwendet. Unter stark nichtlinearen Bedingungen werden die Gleichungen f"ur die zeitlich gemittelten und die zeitlich periodisch schwankenden Gr"o"sen getrennt aufgeschrieben und simultan integriert. Ergebnisse werden f"ur Zweifl"ussigkeitsmodelle der HF-Randschicht und von HF-Entladungen unter verschiedenen Bedingungen mitgeteilt. Elastische und unelastische St"o"se und die periodische Mitbewegung der Ionen werden in einigen F"allen einbezogen. - Gef"ordert durch den Sonderforschungsbereich 191 (Ruhr- Universit"at Bochum, Institut f"ur Theoretische Physik I).