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P: Plasmaphysik

P 9: Diagnostik III

P 9.1: Talk

Tuesday, March 10, 1998, 09:30–09:45, H 15

Dynamische Ionenstrommessungen in Niederdruckplasmen — •P. Scheubert, F.-B. Anschütz, P. Awakowicz und G. Wachutka — Lehrstuhl für Technische Elektrophysik, TU-München, 80290 München

Zur Extraktion lokaler Messgrößen in Niederdruckentladungen werden vielfach Langmuirsonden eingesetzt. Wird zur Bestimmung des Ionenstromes eine sinusförmig modulierte Meßspannung verwendet, so führt die Massenträgheit der Ionen zu Abweichungen gegenüber quasistatisch ermittelten Kennlinien. Die resultierende Phasenverschiebung zwischen Strom und Spannung kann ausgenutzt werden, um tieferes Verständnis des Ionentransportes in Nähe der Sonde zu erlangen. Eine adequate theoretische Beschreibung muß zeitaufgelößt die Massen- und Impulserhaltung für die Ionen enthalten. Dies wird durch die Verwendung eines hydrodynamischen Zweiflüssigkeitsmmodelles erreicht. Modellrechnungen unter Berücksichtigung von Ionen-Neutralgasstößen werden mit Messungen in Niederdruck-Edelgasentladungen verglichen.