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P: Plasmaphysik

P V: HV V

P V.1: Hauptvortrag

Mittwoch, 11. März 1998, 11:00–11:45, H 15

E-Feld-Verteilungen in Randschichten von RF-Entladungen — •U. Czarnetzki — Institut f"ur Laser- und Plasmaphysik, Universit"at GH Essen, Universit"atsstr. 5, D-45117 Essen

Die Vorg"ange in den dynamischen Randschichten von Radiofrequenzentladungen sind von gro"sem physikalischem und technologischem Interesse, da diese die ’Schnittstelle’ zwischen dem Plasmabulk und der Elektrodenoberfl"ache bzw. dem Substrat darstellen. Die Messung der r"aumlich und zeitlich aufgel"osten Feldst"arkeverteilungen in diesen Randschichten stellt einen sehr direkten Weg zur Untersuchung der Schichtdynamik dar. Solche Untersuchungen erm"oglichen unter bestimmten Bedingungen "uber die Messung des Feldes hinaus die Bestimmung der Schichtspannungen, des Plasmapotentials, der Ionendichteverteilung innerhalb der Schicht, der Dynamik der Schichtkante, des Verschiebungsstroms und indirekt auch der Ionenenergieverteilung und des Ionenflusses. Dazu werden Messungen in einer asymmetrischen, kapazitiv gekoppelten Helium-RF-Entladung in der GEC-Reference-Cell vorgestellt. Die Bestimmung der lokalen elektrischen Feldst"arke erfolgt dabei durch Vermessung der Stark-Aufspaltung an Rydberg-Zust"anden (n=11) des Heliums. Weiterhin wird ein neuartiges laserspektroskopisches Verfahren an atomarem Wasserstoff vorgestellt, welches es erlaubt sehr hochliegende Rydberg-Zust"ande bis ca. n=55 zu untersuchen und sehr kleine Felder bis hinab zu ca. 5 V/cm zu messen. Auch hierzu werden erste Anwendungen in der RF-Entladung vorgestellt.