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P: Plasmaphysik

P VI: HV VI

P VI.1: Hauptvortrag

Mittwoch, 11. März 1998, 11:45–12:30, H 15

Oberflächentechnik mit Niederdruckplasmen — •H. Dimigen — Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik, Braunschweig

Die Oberflächentechnik hat sich in jüngerer Zeit zu einer Schlüssel- und Querschnittstechnologie ersten Ranges entwickelt. Einerseits basieren nahezu alle mikrotechnischen Bauelemente auf Schichtsystemen; andererseits hat der Wunsch nach leistungsfähigeren industriellen Produkten zu der Notwendigkeit geführt, Oberflächen im Hinblick auf unterschiedlichste Eigenschaften zu funktionalisieren.

Möglich geworden ist der extrem breite Einsatz der Oberflächentechnik durch die Entwicklung neuer, plasmagestützter Verfahren. Dabei hat die Anwendung von Niederdruckplasmen in der Beschichtungstechnik die Breite der als Schicht abscheidbaren Materialien extrem erweitert und zugleich ein Instrumentarium geliefert, um den Schichtaufbau zu steuern und damit auf strukturabhängige Schichteigenschaften Einfluß zu nehmen.

Diese Entwicklung der Oberflächentechnik hat Plasmaphysiker und Technologen zusammengeführt: Die Erzeugung von Plasmen mit hoher Ladungsträgerdichte, die Realisierung hoher Ionenstromdichten auf großflächigen und technischen, das heißt zumeist nichtebenen Substraten und das Verständnis der Wechselwirkungen zwischen den Spezies des Plasmas und der wachsenden Schicht hat in den letzten Jahren zwar rasche Fortschritte gemacht, aber ein weites Feld für weitere Forschung und Entwicklung offengelassen.