Bayreuth 1998 – wissenschaftliches Programm

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SYB: Symposium Polymere und kleine Moleküle an Grenzflächen

SYB 4: Polymere und kleine Moleküle an festen Grenzflächen

SYB 4.9: Poster

Dienstag, 10. März 1998, 18:00–20:00, P1

Diffusion und Agglomeration von aufgedampftem Kupfer auf Polyimid — •M. Kiene, T. Strunskus, R. Peter und F. Faupel — Technische Fakultät der Christian-Albrechts-Universität Kiel, Kaiserstr. 2, 24143 Kiel

Die Diffusion und Agglomeration von Kupfer im oberflächennahen Bereich wurde mit Hilfe von Röntgenphotoelektronenspektroskopie (XPS) und Transmissionselektronenmikroskopie sowohl im Querschnitt als auch in Aufsicht (TEM) untersucht. Die ausgeprägte Agglomerisation des Kupfers im grenzflächennahen Bereich verhindert die Diffusion des Metalls in das Polyimid unter typischen Metallisierungsbedingungen. Die Ergebnisse lassen den Schluß zu, daß aus massiven Kupferstrukturen, wie z.B. Leiterbahnen, kein Kupfer abdiffundieren kann. In früheren Arbeiten, in denen mit oberflächenempfindlichen Methoden Diffusion beobachtet worden ist, wurden entweder bei sehr niedrigen Bedeckungen durchgeführt oder die Agglomeration zu Clustern wurde fälschlicherweise als Diffusion interpretiert. Nur bei extrem niedrigen Aufdampfraten und hohen Substrattemperaturen während des Aufdampfens wird eine massive Eindiffusion von Kupfer in das Polyimid beobachtet.