Konstanz 1998 – wissenschaftliches Programm
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Q: Quantenoptik
Q 10: Anwendung ultrakurzer Pulse
Q 10.5: Vortrag
Montag, 16. März 1998, 17:00–17:15, P 603
Präzise Ablation von Dielektrika mit Femtosekundenimpulsen — •M. Lenzner1, S. Sartania1, Z. Cheng1, C. Spielmann1, F. Krausz1, J. Krüger2 und W. Kautek2 — 1Technische Universität Wien, Gußhausstr. 27/359-4, A-1040 Wien — 2Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung, Labor VIII.22, Unter den Eichen 87, D-12205 Berlin
Die Vorteile der Materialbearbeitung mit Femtosekunden-Impulsen sind Gegenstand zahlreicher Untersuchungen in jüngster Zeit [1-4]. Zu den wesentlichen Vorteile zählen die geringe Abtragrate, verminderte thermische Belastung des Werkstückes und die deshalb erzielbaren sauberen Kantenstrukturen. Durch die großen Spitzenintensitäten der Laserimpulse können auch in Materialien, die für cw-Strahlung der gleichen Wellenlänge transparent sind, hohe Elektronendichten erzeugt werden, die letztendlich zur Abtragung führen.
Wir führten erstmals Experimente mit Laserimpulsen bis zu 5 fs Dauer in zwei verschiedenen Gläsern, Barium-Borosilikat-Glas und Fused Silica, durch. In letzterem wurden Abtragraten von weniger als 200 nm pro Impuls erzielt, lichtmikroskopische und REM-Aufnahmen belegen die Vorteile der Anwendung derartig kurzer Impulse bei der Erzeugung homogener Strukturen.
[1] J. Ihlemann, B. Wolff und P. Simon, Appl. Phys. A 54, 336 (1992)
[2] P. P. Pronko et al., Opt. Comm. 114, 106 (1995)
[3] C. Momma et al., Opt. Comm. 129, 134 (1996)
[4] B. C. Stuart et al., Phys. Rev. B 53, 1749 (1996)