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DF: Dielektrische Festkörper

DF 4: Elektrische und optische Eigenschaften II

DF 4.4: Vortrag

Dienstag, 24. März 1998, 15:30–15:50, H11

Makroporöses Silizium als zweidimensionaler Photonischer Kristall — •A. Birner¹, F. Müller¹, V. Lehmann² und U. Gösele¹ — ¹Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik, Weinberg 2, D-06120 Halle/Saale — ²Siemens AG, München

Ziel der Forschungstätigkeiten auf dem neuen Gebiet der Photonischen Kristalle ist es, die optischen Eigenschaften eines dielektrischen Festkörpers in ähnlicher Weise maßschneidern zu können, wie dies heutzutage für die elektronischen Eigenschaften von Halbleitern möglich ist. Durch ein spezielles, elektrochemisches Ätzverfahren wurde makroporöses Silizium, bestehend aus hexagonal angeordneten, zylindrischen Poren (Durchmesser ca. 1 µm ) in Silizium, hergestellt. Der Abstand benachbarter Poren beträgt 1.5 µm. Deren typische Länge liegt bei wenigen 100 µm. Durch eine solche Struktur wurde kürzlich erstmals ein 2D Photonischer Kristall im infraroten Spektralbereich realisiert [1]. Darauf aufbauend wurde nun versucht, gezielt strukturierte Photonische Kristalle herzustellen um verschiedenartige Wellenleiterstrukturen, wie sie aus der Integrierten Optik bekannt sind, zu realisieren. Optische Messungen an diesen Strukturen sollen diskutiert werden. [1] U. Grüning, V. Lehmann, S. Ottow und K. Busch, Appl. Phys. Lett. 68, 747 (1996)