Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 24: Postersitzung

DS 24.17: Poster

Donnerstag, 26. März 1998, 15:00–19:00, PF A

Untersuchung der Oxidbildung in Titan nach Plasma Immersions Ionenimplantation — •M. Rinner, W. Ensinger, B. Stritzker und B. Rauschenbach — Universität Augsburg, Institut für Physik, 86135 Augsburg

Plasma Immersions Ionenimplantation (PIII) ist ein relativ neues Implantationsverfahren. Der zu behandelnde Gegenstand wird in ein geeignetes Plasma eingebracht, und mittels einer gepulsten Hochspannung werden Ionen aus allen Raumrichtungen zur Probe hin beschleunigt. Titan, bekannt für seine ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit aber auch für seinen reduzierten Verschleißwiderstand, wurde in einem Sauerstoffplasma mit PIII behandelt, um eine verschleißresistente TiO-Schicht zu bilden. Das Plasma wurde durch ECR Mikrowellenanregung erzeugt. Hochspannungspulse von -45 kV und 15 us Dauer wurden an die Proben angelegt. Bei gleichbleibender Gesamtpulszahl wurde der Einfluß der Frequenz und der Plasmadichte auf die Oxidbildung untersucht. Die Zusammensetzung wurde mit RBS und die Phasenbildung mit XRD ermittelt.