Regensburg 1998 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 24: Postersitzung

DS 24.24: Poster

Thursday, March 26, 1998, 15:00–19:00, PF A

Thermische Stabilität der Bindungsstruktur von amorphen BC-Schichten — •M. Heumann¹, F. Goschenhofer¹, C. Becker¹, J. Geurts¹, V. Wagner¹, C. Siry², A. Annen³ und W. Jacob³ — ¹Physikalisches Institut, Universität Würzburg — ²Werkstoffwissenschaften, RWTH-Aachen — ³MPI für Plasmaphysik, Garching

Amorphe hydrogenisierte diamantartige Kohlenstoffschichten haben aufgrund ihrer hohen Depositionsrate, ihrer hohen Härte und der chemischen Inertheit einen großen Anwendungungsbereich erschlossen. Wir modifizieren diese Schichten durch die Zugabe von Bor bis hin zu reinen Borschichten. Solche Borcarbidschichten zeigen ebenfalls eine sehr hohe Härte und erlauben über die Variation der Komposition eine weitergehende Schichtoptimierung. Für den praktischen Einsatz solcher Schutzschichten ist relevant, bis zu welcher Temperatur sie stabil bleiben. Daher wird hier der Einfluß von Temperaturen im Bereich von 20 bis 550 ^∘C auf die Struktur und damit auch die mechanischen Eigenschaften untersucht. Mittels Ramanspektroskopie wird die zunehmende Graphitisierung und die Entmischung in die Bestandteile Bor und Kohlenstoff detektiert. Es zeigt sich , daß die Temperaturbeständigkeit mit zunehmendem Borgehalt von 300 ^∘C auf 450 ^∘C zunimmt. Parallel ausgeführte Infrarotabsorptionsmessungen zeigen eine Effusion des an Kohlenstoff gebundenen Wasserstoffs, wärend die B-H Bindungen im wesentlichen unbeeinflußt bleiben.