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DS: Dünne Schichten

DS 24: Postersitzung

DS 24.3: Poster

Thursday, March 26, 1998, 15:00–19:00, PF A

Infrarotspektroskopische Beobachtungen zur Festphasen-Eisensilizidbildung — •Gerhard Fahsold², Annemarie Lehmann¹, Axel Bartel² und Stephan Ulrich² — ¹Institut fuer Angewandte Physik, Universitaet Heidelberg, Albert-Ueberle-Str. 3-5, D-69120 Heidelberg — ²Institut fuer Angewandte Physik, Universitaet Heidelberg, Albert-Ueberle-Str.3-5, D-69120 Heidelberg

Beta-Eisendisilizid ist aufgrund seiner halbleitenden Eigenschaften sowie seiner Siliziumkompatibilitaet ein interessantes Material fuer die Lichtdetektion und Photovoltaik. Die Infrarotspektroskopie liefert Informationen sowohl ueber die strukturabhaengigen optischen Phononen als auch ueber freie Ladungstraeger. Die optischen Phononen im kovalent-gebundenen Silizid sind durch eine hohe Polarisierbarkeit infrarotaktiv (transversale dynamische Ladung ca. 0,9 Elementarladungen am Si). Ausgehend von einer Si-7x7-Oberflaeche wurde die dynamische Leitfaehigkeit in Abhaengigkeit von der Dicke des glatt aufgewachsenen Fe-Films und nach verschiedenen Temperschritten waehrend der Silizidpraeparation verfolgt. Die Phononendaten des praeparierten Halbleiter-Films entsprechen einer inhomogenen polykristallinen Beta-Disilizidphase.