Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 2: Poster I

HL 2.42: Poster

Montag, 23. März 1998, 10:30–19:00, A

QUASIMONOLITHISCHE AKUSTOELEKTRISCHE BAUELEMENTE AUF GaAs/LiNbO₃ BASIS — •M. Rotter¹, W. Ruile², A. Wixforth¹, J.P. Kotthaus¹, D. Bernklau² und H. Riechert² — ¹Sektion Physik der LMU, 80539 München — ²Siemens AG, ZT KM, 81730 München

Seit kurzem ist es möglich, quasimonolithische Hybride aus Halbleiterschichtsystemen und Piezoelektrika herzustellen, die sehr erfolgversprechende Eigenschaften für Anwendungen als aktive, abstimmbare akustoelektrische Bauelemente haben. Dabei wird eine speziell entworfene Halbleiterschicht von ihrem natürlichen Substrat abgelöst und auf ein piezoelektrisches Fremdsubstrat übertragen. Die Kombination beider Teile des Hybrids resultiert in einer sehr grossen effektiven akustoelektrischen Kopplungskonstanten, die eine grosse Abstimmbarkeit der akustischen Eigenschaften konventioneller Oberflächenwellenbauelemente ermöglicht. In unserem Beitrag untersuchen wir verschiedene Kristallschnitte des Piezoelektrikums auf ihre Eignung zur Hybridisierung und stellen einige, bei Raumtemperatur arbeitende Bauelemente, wie z.B. spannungsabstimmbare Oszillatoren oder ’phase shift key’ (PSK) Modulatoren auf Hybridbasis vor.