Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 5: Bauelemente I

HL 5.10: Vortrag

Montag, 23. März 1998, 12:45–13:00, H17

Bragg-Filter für den sichtbaren Spektralbereich basierend auf ZnSe — •M. Legge¹, D. Eisert¹, G. Bacher¹, A. Forchel¹, K. Leonardi² und D. Hommel² — ¹Technische Physik, Universität Würzburg, Am Hubland, 97074 Würzburg — ²Institut für Festkörperphysik, Universität Bremen, 28359 Bremen

In der modernen Optoelektronik spielen Bragg-Gitter eine bedeutende Rolle, z.B. zur Frequenzselektion bzw. für Sensoren. Besonders für Anwendungen im sichtbaren Spektralbereich bietet sich dabei der Einsatz breitbandlückiger Halbleitersysteme wie ZnSe an. In dieser Arbeit wurden ausgehend von einem ZnMgSSe/ZnSSe/ZnMgSSe-Schichtwellenleiter Bragg-Gitter hergestellt und hinsichtlich ihrer Transmissionseigenschaften untersucht. Die Gitter mit Perioden um 120 nm wurden mittels Elektronenstrahllithographie definiert und durch einen Trockenätzprozeß (Ar/BCl₃) in den Halbleiter übertragen. Die Filtercharakteristik wurde mit einem durchstimmbaren Farbstofflaser im Wellenlängenbereich von um 600 nm gemessen. Dabei ließ sich bei einer Gitterlänge von 1 mm eine Modulation der Transmission von 90% mit einer Halbwertsbreite von 0.5 nm erreichen. Sowohl die Gitterlänge als auch die Ätztiefe der Gitterstruktur haben einen starken Einfluß auf die Transmissionscharakteristik. So läßt sich mit abnehmender Länge bzw. Modulationstiefe eine Reduktion des Transmissionskontrastes beobachten. Dieses Verhalten kann durch Transfermatrixrechnungen gut modelliert überein.