Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 5: Bauelemente I

HL 5.4: Vortrag

Montag, 23. März 1998, 11:15–11:30, H17

Relativdruckmessung in einer Umgebung mit hohen Beschleunigungen — •A. Waldmann^1,2, H. von Philipsborn² und G. Mader¹ — ¹SIEMENS AG, AT SE SC1 TG2, D-93040 Regensburg — ²Universität Regensburg, Fakultät Physik, D-93040 Regensburg

Die schnelle Sensierung von Aufprallereignissen ist entscheidend in der Entwicklung moderner Sicherheitssysteme im Automobilbereich. Mit Hilfe spezieller Unterätztechniken wurde ein kapazitiver Drucksensor in CMOS-Technik entwickelt, der das physikalische Meßprinzip und die Auswerteelektronik vollständig auf seiner Chipoberfläche integriert [1]. Die Detektion von Relativdruckschwankungen unter realen Bedingungen eines seitlichen Aufprallereignisses wurde untersucht. Der Sensor soll dabei weitgehend unabhängig von äußeren Temperaturschwankungen über einen Druckbereich von mehreren 100 mbar ein möglichst unverfälschtes Signal in weniger als 5 ms liefern. Zugleich erfordert der Einbau in das Kraftfahrzeug einen hinreichenden Schutz vor Umwelteinflüssen wie Feuchtigkeit, Treibstoff- und Abgasdämpfen und Beschleunigungen [2]. Bereits im Normalbetrieb kann an Teilen eines Kfz bis zu 1000-fache Erdbeschleunigung wirken. Auftretende physikalische Effekte werden diskutiert und anhand der technischen Umsetzung überprüft.

[1] T. Glaser, Dyn. Druckmessung mit hochintegrierten Drucksensoren, Diplomarbeit an der Fakultät Physik, Universität Regensburg (1996)

[2] S. Pindl, Dyn. Druckübertragung bei Medientrennung, Diplomarbeit an der Fakultät Physik, Universität Regensburg (1995)