Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 5: Bauelemente I

HL 5.5: Vortrag

Montag, 23. März 1998, 11:30–11:45, H17

Kalibrierung elektrothermischer Modelle für Leistungsbauelemente mit Hilfe kombinierter Charakterisierungsmethoden — •R. Thalhammer¹, G. Deboy², E. Knauf³, E. Kühbandner¹ und G. Wachutka¹ — ¹Lehrstuhl für Technische Elektrophysik, Technische Universität München, Arcisstr. 21, D-80290 München — ²Siemens AG München, Bereich Halbleiter, D-81739 München — ³Physik Department, E16, Technische Universität München, D-85747 Garching

Mit Hilfe der Internen Laserdeflexion [1] können Ladungsträger– und Temperaturverteilungen im Inneren von Leistungsbauelementen gemessen werden. Dies ermöglicht eine über die Anpassung des Klemmenverhaltens hinausgehende Kalibrierung der zur numerischen Devicesimulation verwendeten Modelle. Anhand der gemessenen Trägerverteilungen werden die Rekombinationsmodelle kalibriert [2], wobei durch eine geeignete Umparametrisierung eine physikalische Interpretation der Trägerlebensdauer–Parameter erreicht werden kann. Nach der Kalibrierung der Trägerbeweglichkeiten mit Hilfe der gemessenen Kennlinien erhält man ein physikalisches Gesamtmodell, das sowohl das Klemmenverhalten wie auch die interne Ladungsträger– und Temperaturverteilung im stationären und transienten Fall korrekt beschreibt.

[1] G. Deboy et al., Microelectronic Engineering 31, 299, (1996)

[2] R. Thalhammer et al., Proc. of ISPSD, 181, (1997)