Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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SYB: Symposium Elastische und plastische Eingenschaften dünner Filme

SYB 1: Elastische und plastische Eingenschaften dünner Filme

SYB 1.1: Hauptvortrag

Mittwoch, 25. März 1998, 14:00–14:30, H 32

Messung mechanischer Spannungen zur in situ Untersuchung des Wachstums Dünner Schichten — •R. Abermann — Institut für Physikalische Chemie, Universität Innsbruck, Innrain 52a, A-6020 Innsbruck

Zur Untersuchung des Wachstums Dünner Schichten unter UHV-Bedingungen eignen sich in situ Messungen der in den Schichten aufgebauten inneren Spannungen. Der große Vorteil dieser Meßmethode ist der, daß das Schichtwachstum durch die Messung nicht beeinflußt wird. Anhand von ausgewählten Beispielen werden Anwendungen der Methode demonstriert. Im ersten Teil des Vortrages sollen die Änderungen in der Mikrostruktur und in der chemischen Zusammensetzung von Titanschichten diskutiert werden, die sich bei erhöhten H₂O- bzw. O₂-Partialdrücken während der Schichtabscheidung ergeben. Diese Schichten wurden dann in einer weiteren Versuchsserie als Unterlage für die Abscheidung einer reinen Titanschicht verwendet, um den Einfluß der physikalisch-chemischen Eigenschaften der Unterlage auf das Wachstum der Titanschicht zu studieren. Im letzten Teil des Vortrages werden die Ergebnisse von Messungen der Wachstumsspannung von Ti/Al- und Ti/Cu-Legierungen präsentiert. Dabei wird der Einfluß der Legierungszusammensetzung und der Substrattemperatur auf das Wachstum dieser Schichten diskutiert.