Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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SYB: Symposium Elastische und plastische Eingenschaften dünner Filme

SYB 2: Postersitzung (gemeinsam mit M, AM, DS, DF,TT)

SYB 2.12: Poster

Donnerstag, 26. März 1998, 15:10–19:10, A (Sammelgeb"aude)

Mikrostruktur und Umwandlungsverhalten von Kobaltschichten — •Heiko Hesemann, Peter Müllner und Eduard Arzt — MPI für Metallforschung, Stuttgart

Untersuchungen der hdp-kfz Umwandlung in Dünnschichten aus Kobalt werden mit dem Ziel durchgeführt, Zusammenhänge zwischen Schichtdicke, Mikrostruktur und Spannungszustand einerseits und dem Umwandlungsverhalten andererseits aufzuzeigen. Zur Untersuchung werden Röntgen- und Substratkrümmungsmessungen, sowie die Transelektronenmikroskopie (TEM) herangezogen. Erste Ergebnisse zeigen, daß nach der Schichtherstellung sowohl die bei Raumtemperatur metastabile kfz-Hochtemperaturphase, als auch die stabile hdp-Niedrigtemperaturphase vorliegen. Der Anteil der hdp-Phase nimmt mit zunehmender Schichtdicke zu. Beim ersten Aufheizen wandelt die metastabile kfz-Phase in die stabile hdp-Phase um. Bei hohen Temperaturen bildet sich die dann stabile kfz-Phase. Die Rückumwandlung zur hdp-Phase ist gehemmt. Bei Raumtemperatur liegt hauptsächlich die kfz-Phase vor, wobei mit zunehmender Schichtdicke der Anteil der hdp-Phase zunimmt. Die Untersuchungen am TEM zeigen Martensitlamellen und weisen auf die martensitische Natur der Umwandlung hin.