Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm
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TT: Tiefe Temperaturen
TT 15: Postersitzung II: Massive HTSL (1-12), Supraleitung: Anwendungen (13-34), Josephsonkontakte und Kryoelektronik (35-75), Elektronenstruktur und Phononen in HTSL (76-79), Schwere Fermionen, Kondo-Systeme (80-99)
TT 15.65: Poster
Mittwoch, 25. März 1998, 15:00–18:30, D
Nanobrücken in dünnen supraleitenden YBa2Cu3O7−δ-Filmen mittels Flüssigätzverfahren — •F.-M. Kamm, A. Plettl und P. Ziemann — Abt. Festkörperphysik, Universität Ulm, 89069 Ulm
Mit Hilfe konventioneller Elektronenstrahl-Lithographie (20 kV) wurden Nanobrücken in 100 nm dünnen supraleitenden YBa2Cu3O7−δ-Filmen strukturiert. Durch definiertes Unterätzen der PMMA-Lackstrukturen konnten mit Hilfe stark verdünnter ortho-Phosphorsäure Strukturbreiten bis 60 nm Breite erreicht werden. Es zeigte sich, daß der Flüssigätz prozeß eine Sättigung erreicht und damit kein zeitkritischer Prozeß mehr ist. Die Strukturbreite wird somit ausschließlich durch die Dosis der belichtenden Elektronen bestimmt.
Die naßchemisch strukturierten Brücken zeigen vollständige Supraleitung mit kritischen Temperaturen im Bereich von 85 K. Die Temperaturabhängigkeit des kritischen Stromes IC(T) nahe TC ist linear. Das ρ(T)-Verhalten einiger Brücken deutet auf ein Sauerstoffdefizit hin. Für Strukturbreiten von 180 nm sind die I-V-Charakteristiken durch Flußschlauchbewegungen gekennzeichnet. Bei Strömen I* ≫ IC findet man Vortexinstabilitäten, die durch Spannungssprünge gekennzeichnet sind.