Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm
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TT: Tiefe Temperaturen
TT 21: Postersitzung III: Spin-Peierls-Systeme, Metall-Isolator-Übergang, Lokalisierung; SL: Theorie; Quantenflüssigkeiten und -kristalle; Amorphe Materialien, Tunnelsysteme; Borcarbide, Fullerene, konventionelle SL; SL dünner Filme; Experimentiertechniken
TT 21.94: Poster
Donnerstag, 26. März 1998, 15:00–18:30, D
Räumlich aufgelöste Oberflächenwiderstandsmessungen an gesputterten 3-Zoll-YBCO-Filmen — •J. Halbritter1, R. Schwab1, R. Heidinger1 und J. Geerk2 — 1Forschungszentrum Karlsruhe, Institut für Materialforschung 1, Postfach 3640, 76021 Karlsruhe — 2Forschungszentrum Karlsruhe, Institut für nukleare Festkörperphysik
Grossflächige, mit YBCO-Filmen beschichtete Wafer bilden eine wichtige
Ausgangskomponente für den Einsatz der Hochfrequenzsupraleitung in der
Kommunikationstechnik. Zur Entwicklung geeigneter Sputterparameter sind
räumlich aufgelöste Eigenschaftsmessungen wesentlich, insbesondere die
quantitative Bestimmung des Oberflächenwiderstandes R(T,x,y).
Entsprechende Ergebnisse, die mittels eines Fabry-Perot-Resonators bei 145
GHz zwischen 10 und 150 K erhalten wurden, werden für verschiedene
3-Zoll-Filme vorgestellt. Der Einfluss von Schichtparametern und
Sputterbedingungen wird diskutiert.