Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm
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TT: Tiefe Temperaturen
TT 3: Supraleitende Filme I
TT 3.7: Vortrag
Montag, 23. März 1998, 12:00–12:15, H 20
Reversibles Laserannealing von HTSL Schichten und magnetooptische Charakterisierung — •J. Eisenmenger, M. Böhmisch, J. Zimmermann, J. Schiessling und P. Leiderer — Universität Konstanz, Fakultät für Physik, Postfach 5560 M675, 78434 Konstanz
Bei geeignet gewählten Parametern erlaubt das reversible Laserannealing, Strukturen unterschiedlicher supraleitender bzw. halbleitender Eigenschaften in HTSL Filme zu schreiben, ohne daß dabei der Film irreversibel geschädigt wird. Die Methode basiert auf einer lokalen Änderung des Sauerstoffgehalts im HTSL und hängt von mehreren Parametern ab, die diesen Diffusionsprozess beeinflussen. AFM Messungen demonstrieren die planaren Eigenschaften der Methode. Im AFM Kelvin Modus konnten außerdem Randschärfen der Strukturen unter 0.5 µ m nachgewiesen werden. Auch Proben, die sich unterhalb von Tc befinden, können strukturiert werden. Die Änderung der supraleitenden Eigenschaften läßt sich dabei in situ elektrisch überprüfen. Das magnetische Abschirmverhalten der strukturierten HTSL wurde mit der magnetooptischen Methode untersucht. Damit konnten sowohl künstlich geschriebene Strukturen als auch natürliche Defekte mit hoher Ortsauflösung zerstörungsfrei, schnell und auch bei 77 K nachgewiesen werden. Position und Stärke lokaler Defekte spielen bei vielen HSTL-Anwendungen, wie z.B. HF-Filtern, eine wesentliche Rolle. Die gezielte Herstellung künstlicher, lokaler Defekte könnte hier zum besseren Verständnis des Defekteinflusses auf die Bauteileigenschaften beitragen.