Regensburg 1998 – scientific programme
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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik
VA 1: Pumpen
Monday, March 23, 1998, 09:30–11:30, H48
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09:30 | VA 1.1 | Invited Talk: Anforderungen der Halbleiterfertigung an Vakuumpumpen — •P. Reimer und D. Smith |
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10:10 | VA 1.2 | Fachvortrag: Compound-Vakuumpumpen für hohe Gasdurchsätze — •C. Reese, H. Lotz und A. Conrad |
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10:30 | VA 1.3 | Fachvortrag: Völlig ölfreie neue Vorvakuumpumpe für saubere Anwendungen — •R. Bahnen und G. Hauck |
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10:50 | VA 1.4 | Fachvortrag: Charakteristische Eigenschaften von Turbopumpen — •P. Klingner, S. Ernst, F.J. Schittko und H.G. Stüber |
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11:10 | VA 1.5 | Fachvortrag: Temperatureffekte in Turbopumpen — •F.J. Schittko |