Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 2: Druckmessung, Ausgasung, Metrologie

VA 2.2: Fachvortrag

Montag, 23. März 1998, 14:10–14:30, H48

Vergleich von Heißkathodenmanometern zu kapazitiven Membranmanometern zur Prozeßregelung — •U. Wälchli und R. Stocker — Balzers und Leybold Instrumentation, FL-9496 Balzers

Für eine präzise und schnelle Druckregelung in Vakuumprozessen werden Mess-Systeme mit einer hohen Wiederholbarkeit gefordert. In einem Vergleich von neuen speziellen Ionisationsmanometern, welche nach dem Prinzip der Feinvakuummessröhre (Triode) aufgebaut sind, mit hochempfindlichen Membrandruckmessköpfen zeigen sich die spezifischen Vorteile der einzelnen Messprinzipien genau einmal der eigentliche Text