Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 2: Druckmessung, Ausgasung, Metrologie

VA 2.3: Fachvortrag

Montag, 23. März 1998, 14:30–14:50, H48

Erweiterung der Me"sm"oglichkeiten eines Gasreibungsvakuummeters durch Gaskompression — •Bernd E. Lindenau — Institut f"ur Grenzfl"achenforschung und Vakuumphysik, Forschungszentrum J"ulich, D-52425 J"ulich

Die Verbesserung der Me"sempfindlichkeit eines Druckme"sger"ates durch Kompression des Gases ist von McLeod-Vakuummetern her bekannt. Dieses= Prinzip wurde auf ein Gasreibungsvakuummeter "ubertragen. Dazu wurde der Sensor= eines Gasreibungsvakuummeters um eine molekulare Reibungspumpe erweitert, die= einen erh"ohten Gasdruck in dem Sensorvolumen aufrecht erh"alt. Als Pumpe wurde in einem ersten Ansatz ein zweiter Gasreibungsvakuummeter-Kugelrotor verwendet, der mit einer Drehzahl bis 20 kHz betrieben wird und das Gas in einem Kanal um den "Aquator der Kugel in Art einer Gaede-Pumpe f"ordert. Mit dieser= Anordnung konnte eine Verdoppelung des Gasdrucks in dem Sensorvolumen des Gasreibungsvakuummeters erzielt werden. M"oglichkeiten zur Steigerung des Kompressionsfaktors sowie die Nutzung der Gasartabh"angigkeit der= Kompression zur Molekulargewichtsbestimmung werden untersucht.