Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 4: Vakuumverfahrenstechnik 1

VA 4.4: Fachvortrag

Dienstag, 24. März 1998, 12:10–12:30, H48

Turbomolekular-Pumptechnologie in der Bildröhrenfertigung — •A. Ende¹ und D. Urban² — ¹Leybold Service GmbH, Berlin — ²Leybold Vakuum GmbH