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A: Atomphysik

A 14: Poster

A 14.39: Poster

Donnerstag, 18. März 1999, 16:30–19:00, PY

Die Elektron-Zyklotron-Resonanz-Strahlungsquelle der PTB — •Peter Grübling, Jörg Hollandt und Gerhard Ulm — Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Abbestr. 2-12, D-10587 Berlin

Im Radiometrielabor der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) am Elektronenspeicherung BESSY I ist eine kompakte mikrowellenangeregte Plasmastrahlungsquelle nach dem Prinzip der Elektron-Zyklotron-Resonanz-Ionenquellen (EZR) entwickelt worden [1].

Die auf Permanentmagneten basierende Magnetfeldkonfiguration der Quelle orientiert sich am Design für eine 10 GHz EZR der Universität Giessen [2]. Eine grundlegende Überarbeitung des in [1] vorgestellten ursprünglichen Aufbaus ermöglicht eine Optimierung der Quelle als Strahler für Vakuum-UV-Strahlung. Durch Abstimmung des Hohlleitersystems und Variation der axialen Lage des Magnetfeldes kann die Effizienz der Mikrowelleneinkopplung in das Plasma und damit die Strahlungsausbeute deutlich gesteigert werden.

Es wird der Einfluss der Optimierung mit Spektren im Wellenlängenbereich von 5 nm bis 60 nm gezeigt. Die mit der Abstimmung des Systems verbundene Veränderung der Elektronenergieverteilung im EZR-Plasma wird durch Messungen mit einem Si(Li)-Halbleiterdetektor belegt.

[1] B. Möbus, G. Ulm, XX. ICPEAC, Vienna, Austria 23.-29. July 1997, Abstracts of Contributed Papers Vol.1, FR 184

[2] M. Schlapp et al., Nucl. Instr. and Meth. B98 (1995) 525