Heidelberg 1999 – wissenschaftliches Programm
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MS: Massenspektrometrie
MS 6: Beschleunigermassenspektrometrie
MS 6.6: Vortrag
Dienstag, 16. März 1999, 15:15–15:30, PA 3
Status der PSI/ETH-Beschleuniger-SIMS-Anlage — •Colin Maden1 und Max Döbeli2 — 1Institut für Teilchenphysik, ETH Hönggerberg, CH-8093 Zürich — 2Paul Scherrer Institut, c/o ETH Hönggerberg, CH-8093 Zürich
Die PSI/ETH-AMS-Anlage in Zürich ist auf den Nachweis von
Radioisotopen
spezialisiert. Damit auch stabile Isotope in geringsten Konzentrationen
nachgewiesen werden können, wurde eine speziell für diesen Zweck
konstruierte Sputterkammer an die Anlage gekoppelt. Eine mit einer
Rastereinheit ausgerüstete Cäsiumkanone des Typs Cs431 der Firma
Atomika, München, erzeugt den fokussierten Primärionenstrahl.
Die Sekundärionen werden durch eine Extraktionseinheit in den
Strahlweg der AMS-Anlage eingelenkt und mit Beschleuniger-
Massenspektrometrie analysiert. Die Interferenz von Molekülionen
kann auf diese Weise vollständig unterdrückt und ausserordentlich
gute Nachweisgrenzen können erreicht werden.
Resultate von Untersuchungen an Spurenelementen in Siliziumwafern
werden präsentiert und Kontaminationsquellen innerhalb der
Sputterkammer
diskutiert. Projekte für die Beschleuniger-SIMS-Anlage
werden vorgestellt.