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Heidelberg 1999 – wissenschaftliches Programm

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MS: Massenspektrometrie

MS 6: Beschleunigermassenspektrometrie

MS 6.6: Vortrag

Dienstag, 16. März 1999, 15:15–15:30, PA 3

Status der PSI/ETH-Beschleuniger-SIMS-Anlage — •Colin Maden1 und Max Döbeli21Institut für Teilchenphysik, ETH Hönggerberg, CH-8093 Zürich — 2Paul Scherrer Institut, c/o ETH Hönggerberg, CH-8093 Zürich

Die PSI/ETH-AMS-Anlage in Zürich ist auf den Nachweis von Radioisotopen spezialisiert. Damit auch stabile Isotope in geringsten Konzentrationen nachgewiesen werden können, wurde eine speziell für diesen Zweck konstruierte Sputterkammer an die Anlage gekoppelt. Eine mit einer Rastereinheit ausgerüstete Cäsiumkanone des Typs Cs431 der Firma Atomika, München, erzeugt den fokussierten Primärionenstrahl. Die Sekundärionen werden durch eine Extraktionseinheit in den Strahlweg der AMS-Anlage eingelenkt und mit Beschleuniger- Massenspektrometrie analysiert. Die Interferenz von Molekülionen kann auf diese Weise vollständig unterdrückt und ausserordentlich gute Nachweisgrenzen können erreicht werden.
Resultate von Untersuchungen an Spurenelementen in Siliziumwafern werden präsentiert und Kontaminationsquellen innerhalb der Sputterkammer diskutiert. Projekte für die Beschleuniger-SIMS-Anlage werden vorgestellt.

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