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P: Plasmaphysik

P 13: Entladungen III

P 13.2: Talk

Thursday, March 18, 1999, 14:30–14:45, ZO 2

Untersuchung des Einflusses der Entladegeometrie auf das Entladeverhalten von Mikrohohlkathodenentladungen — •O. Bilwatsch, U. Ernst, S. Ish-Shalom, L.D. Biborosch und K. Frank — Universität Erlangen, Erwin-Rommel-Str. 1, D-91058 Erlangen

Kürzlich konnte gezeigt werden,daß durch eine Reduzierung der Abmessungen der Hohlkathodenöffnung stabile DC Glimmentladung auch bei sehr hohen Gasdrücken betrieben werden können. Die entsprechende Geometrie besteht aus zwei dünnen Metallelektroden, die durch einen Isolator ähnlicher Dicke getrennt sind. Der Durchmesser der Kathodenbohrung liegt in diesen Entladungen im Submillimeterbereich, typischerweise <0.6mm. Von großem Vorteil ist, daß in bestimmten Strom-Spannungsbereichen das resistive Verhalten der Entladung es ermöglicht viele Entladungen parallel als Array zu betreiben. Durch den großen Anteil hochenergetischer Elektronen bei gleichzeitig hohem Gasdruck eignen sich diese Entladeanordungen beim Betrieb mit Edelgasen als effiziente Quelle von VUV- und Excimerstrahlung. Es werden erste Ergebnisse der Untersuchungen zum Einfluß der Entladegeometrie auf das elektrische Verhalten der Entladung und das Entladeplasma vorgestellt. Weiter wird über elektrische und optische Messungen berichtet.