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P: Plasmaphysik

P 15: Diagnostik III

P 15.6: Talk

Thursday, March 18, 1999, 17:45–18:00, ZO 2

Lithium-Atomstrahl-Diagnostik für T_e und N_e in reaktiven Plasmen — •M. Böke¹, G. Himmel¹, B. Schweer² und J. Winter¹ — ¹Institut für anwendungsorientierte Plasmaphysik, Ruhr-Universität Bochum, D-44780 Bochum — ²Institut für Plasmaphysik, Forschungszentrum Jülich, D-52425 Jülich

In reaktiven Plasmen haben die räumliche Verteilung und zeitliche Entwicklung der Elektronendichte und mittleren Elektronenenergie entscheidenden Einfluß auf die Teilchenflüße und damit Homogenität und Wachstumsrate dünner Schichten, die aus dem Entladungsgas abgeschieden werden. Mit Hilfe der Lithium-Atomstrahl gestützten Spektroskopie werden diese Parameter bestimmt. Die Atome eines thermischen Li-Strahles werden durch Stöße mit Plasmaelektronen angeregt. Mittels einer CCD-Kamera - optional in Verbindung mit einem Spektrographen oder mit Interferenzfiltern wird die räumliche und zeitliche Verteilung des von den angeregten neutralen Li-Atomen emittierten Lichtes aufgenommen. Aus geeigneten Linienintensitäten bzw. Intensitätsverhältnissen werden unter Zuhilfenahme eines Modelles der Elektronenenergieverteilung die Plasmaparameter bestimmt. Zur Erprobung und Charakterisierung dieser auf technisch relevante Niedertemperaturplasmen zugeschnittenen Diagnostik wird die Methode an Edelgasplasmen in einer GEC-Zelle eingesetzt und mit anderen Diagnostiken verglichen (z.B.: Sondenmessungen, Thomsonstreuung).
Gefördert vom SFB 191 (Niedertemperaturplasmen, Teilprojekt B8).