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P: Plasmaphysik

P 2: Plasma-Wand-Wechselwirkung I

P 2.3: Talk

Monday, March 15, 1999, 12:15–12:30, ZO 2

Einblasen von reaktiven Gasen in die Randschicht von TEXTOR zur Untersuchung der Depositionseffizienz und des lokalen Transports — •P. Wienhold¹, H.G. Esser¹, D. Hildebrandt², A. Kirschner¹, V. Philipps¹ und M. Rubel³ — ¹Institut für Plasmaphysik, Forschungszentrum Jülich GmbH, EURATOM Association, Trilateral Euregio Cluster, D-52425 Jülich — ²Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, EURATOM Association Berlin-Garching — ³Alfven Laboratory, Royal Institute of Technology, S-10044 Stockholm

Durch Einblasen von reaktiven Gasen durch Bohrungen in den Wandkomponenten lassen sich nicht nur dünne Schutzfilme auf der Oberfläche abscheiden, sondern auch die Ausbreitung und der Transport der Molekülradikale in der Randschicht studieren. Zur sicheren Unterscheidung von der Kohlenstoffdeposition (C12) durch das Randschichtplasma wurden in zwei Experimenten Silan und Methan (mit den Isotop C13) während einer Serie von Plasmaentladungen eingeblasen und ihre Ausbreitung spektroskopisch verfolgt. Nach jeder Entladung wurde die jeweils deponierte Menge colorimetrisch anhand der sich mit der Dicke ändernden Interferenzfarben bestimmt. Kernreaktionsanalysen und Sekundärionen-Massenspektroskopie nach der Exposition lieferten Flächen und Tiefenverteilungen der deponierten Spezies. Dabei zeigte sich, daß insgesamt nur ein sehr geringer Bruchteil (kleiner 0.5 Prozent) der eingelassenen Menge auf dem Target deponiert wird und daß dieser mit der Expositionszeit zunimmt. Diese Befunde werden mit Modellrechnungen mit Hilfe des ERO-TEXTOR-Codes verglichen.