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P: Plasmaphysik
P 20: Diagnostik (Poster)
P 20.46: Poster
Montag, 15. März 1999, 16:30–19:00, PY
Orts- und zeitaufgelöste Emissionsspektroskopie an Molekülbanden in einer Wasserstoff/Argon RF-Entladung — •T. Kawetzki, V. Schulz-von der Gathen und H.F. Döbele — Universität GH Essen, Institut für Laser- und Plasmaphysik, Universitätsstr.5, 45117 Essen
eigentliche Text, genau einmal
An einer kapazitiv gekoppelten RF-Entladung
bei 13.56 MHz in Ar/H2-Gemischen (10-100 Pa; 10-100 W) werden orts-
und zeitaufgelöste Besetzungsdichtevariationen verschiedener atomarer und
molekularer Zustände untersucht. Bei seitlicher Beobachtung wird der
axiale Verlauf zwischen den beiden Edelstahl-Elektroden (φ = 100 mm, d
= 25 mm) mit einer Ortsauflösung von 0.5 mm diagnostiziert. Eine
ICCD-Kamera, die in jeder RF-Periode ein verschiebbares Zeitfenster von 5
ns öffnen kann, erlaubt es, mit dem eingesetzten 2 m- Gitterspektrograph
spektrale Fenster von ca. 5 nm Breite aufzunehmen. Beobachtet wird, daß
die Linien der Fulcher-Diagonalbanden
(d3Πu→a3Σg), welche häufig zur
Bestimmung der Gastemperatur verwendet werden, deutliche Zeit- und
Ortsabhängigkeiten zeigen. Die Untersuchung von Molekül-, Atom- und
Ionenlinien unterschiedlicher Anregungsenergien in weiteren spektralen
Intervallen liefert Informationen über die Elektronendynamik, die
ebenfalls diskutiert werden.
Gefördert im Rahmen des SFB 191
”Physikalische Grundlagen der
Niedertemperaturplasmen”.