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P: Plasmaphysik

P 22: Plasma-Wand-Wechselwirkung (Poster)

P 22.4: Poster

Dienstag, 16. März 1999, 16:30–19:00, PY

Abscheidung von a-C:H-Schichten in einer toroidalen ECR-
Entladung — •H.B. Störk¹, J. Ihde², J. Winter¹, H.G. Esser², J.von Seggern², H. Toyoda³ und P. Wienhold² — ¹Institut für Experimentalphysik II, Ruhr-Universität Bochum, D-44780 Bochum — ²Institut für Plasmaphysik, Forschungszentrum Jülich GmbH, D-52425 Jülich — ³Department of Electrical Engineering, Nagoya University, Nagoya 464-8603 Japan

Die Beschichtung von Materialien mittels ECR-Plasmen hat in den letzten Jahren aufgrund der günstigen Entladungseigenschaften vielfache Anwendung gefunden. Ein mögliches Anwendungsgebiet ist dabei die Konditionierung der Wände zukünftiger Fusionsanlagen, da zur Zeit eingesetzte Verfahren mit den permanent anstehenden Magnetfeldern supraleitender Spulen nicht verträglich sind.
Am Jülicher TOMAS-Experiment wurden mit einem durch Elektron-Zyklotron-Resonanz erzeugtem Methanplasma amorphe wasserstoffhaltige Kohlenstoffschichten (a-C:H) abgeschieden. In diesem Beitrag werden die ersten Ergebnisse zum Einfluß des Neutralgasdruckes und der eingekoppelten Mikrowellenleistung auf die an der Innenwand des Torus abgeschiedenen Schichten vorgestellt. Als weiterer Parameter wird die Magnetfeldstärke variiert, da diese einen entscheidenden Einfluß auf die räumliche Verteilung der absorbierten Leistung hat. Insbesondere wird auf die toroidale und poloidale Schichtendickenverteilung eingegangen, da beobachtet wurde, daß in Folge des geometriebedingten Teilchentransportes parameterabhängige Inhomogenitäten auftreten können.