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CP: Chemische Physik

CP 28: Poster: Neue Methoden

CP 28.3: Poster

Monday, March 22, 1999, 18:00–20:00, R52/R72

Polyanilin-Mikroaktuatoren — •W. Bodenstein, N. Nicoloso und E. Oesterschulze — Universität Gesamthochschule Kassel, Institut für Technische Physik, Heinrich-Plett-Strasse 40, 34109 Kassel

Elektrisch leitfähige Polymere entwickeln sich zunehmend zu technologisch wichtigen Werkstoffen mit einer Vielzahl von Anwendungsbereichen. Grundlegend für den überwiegenden Teil dieser Anwendungen sind die Änderungen der physikalischen Eigenschaften der Polymere in Abhängigkeit vom jeweiligen Oxidationszustand. Der Oxidationszustand kann bei technisch relevanten Vertretern dieser Stoffklasse, wie z.B. Polyanilin in weiten Grenzen reversibel über angelegte elektrische Potentiale geregelt werden. Neben einer Änderung der el. Leitfähigkeit und des Absorbtionsverhaltens lassen sich bei PAni und anderen leitfähigen Polymeren Volumenänderungen größer 10 Prozent beobachten. In unseren Untersuchungen konnte gezeigt werden, daß polyanilinbasierende Mikroaktuatoren ohne Verwendung eines zusätzlichen Elektrolyten hergestellt werden können. Polyanilinfilme wurden potentiodynamisch auf coplanaren Leiterbahnen auf Si-Mikrostrukturen (Cantilever) abgeschieden. Die Auslenkung dieser Mikroaktuatoren wurde potential- und frequenzabhängig untersucht. Wesentliche Vorteile gegenüber piezoelektrischen Elementen sind kleine Steuerspannungen, kleine Abmessungen und ein verhältnismäßig einfaches Beschichtungsverfahren. Derartige Mikroaktuatoren können z.B. in der Mikrosystemtechnologie als miniaturisierte Sellelemente für die Rastersondenmikroskopie eingesetzt werden.