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DS: Dünne Schichten

DS 15: Plasma- und Ionentechniken II

DS 15.3: Fachvortrag

Tuesday, March 23, 1999, 15:30–15:45, H 55

Plasmaimmersions-Ionenimplantation von Kaltarbeitsstahl — •G. Thorwarth, S. Mändl, B. Rauschenbach und B. Stritzker — Universität Augsburg

Plasmaimmersions-Ionenimplantation ist ein Verfahren zur schnellen und effizienten Behandlung dreidimensionaler Werkstücke. Wir berichten über die Modifizierung von Kaltarbeitsstahl, der wegen seiner beschränkten Warmfestigkeit mit konventionellen Nitrierverfahren nicht behandelt werden kann, durch Stickstoff- und Kohlenstoffimplantation bei Temperaturen von 300 bis 400^∘C. Die Bildung von Karbonitriden, nachgewiesen durch Röntgendiffraktion (XRD), insbesondere ε-Nitrid, erhöht die Verschleißresistenz, erniedrigt den Reibkoeffizienten und verringert die Neigung zum Kaltverschweißen bei Umformprozessen. Trotz der niedrigen Temperatur wurden Diffusionstiefen von einigen µm innerhalb von 2 Stunden Behandlungszeit mit optischer Emissionsspektroskopie (GDOS) nachgewiesen.