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DS: Dünne Schichten

DS 25: Magnetische Schichten II

DS 25.2: Fachvortrag

Wednesday, March 24, 1999, 17:15–17:30, PC 7

Mechanische Spannungen und magnetisches Verhalten von dotierten MO - Schichten — •Frank Hubenthal und Klaus Röll — Universität, Gh Kassel, Heinrich-Plett Str.40, 34132 Kassel

Bei den hier untersuchten Schichten handelt es sich um gesputterte TbFeCo - Einzel- und Doppelschichten, welche mit SiN als Korrosionsschutz abgedeckt sind. Diese Schichten wurden an der Gesellschaft für Schwerionenforschung (GSI) in Darmstadt mit Co-, Fe- und Cu - Ionen und unterschiedlichen Energieen dotiert. Dabei zeigten sich dramatische Änderungen im magnetischen Verhalten, sowie bei den mechanischen Spannungen in den Schichten. Zur Untersuchung der Effekte wurden ein polares Kerr-Magnetometer und ein phasensensitives Michelson-Interferometer eingesetzt.

Nach dem Sputtern besitzen die MO - Schichten eine senkrechte magnetische Anisotropie, welche durch geeignetes Dotieren ganz oder teilweise in die Schichtebene gedreht wird. Es findet also ein Wechsel von senkrechter zu in-plane Anisotropie statt. Gleichzeitig ergibt sich bei den mechanischen Spannunngen in den c Schichten eine weitere unerwartete Veränderung. Die durch den Sputterprozeß entstandenen hohen Druckspannungen in den Schichten relaxieren im gleichen Maße, wie sich der Wechsel von senkrechter zu in-plane Anisotropie ergibt. Aus den Ergebnissen geht darüber hinaus eine starke Korrelation zwischen den mechanischen Spannungen und der magnetischen Anisotropie hervor.