Münster 1999 – wissenschaftliches Programm
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DS: Dünne Schichten
DS 29: Elektrische Eigenschaften
DS 29.2: Fachvortrag
Donnerstag, 25. März 1999, 14:15–14:30, PC 7
Zur Oberflächenleitfähigkeit von undotierten homoepitaktischen (001)-Diamantfilmen — •Stefan Strobel, Berndt Koslowski und Paul Ziemann — Universtiät Ulm, Abt. Festkörperphysik, Albert-Einstein Allee 11, 89069 Ulm
Mit Hilfe einer Mikrowellen-unterstützten CVD-Technik wurden Diamantfilme homoepitaktisch mit (001)-Orientierung auf entsprechenden HTHP Substraten gewachsen und unmittelbar danach ex situ auf ihre elektrische Leitfähigkeit hin untersucht. Dabei zeigt sich eine signifikante, wenn auch in einigen Fällen geringe, Oberflächenleitfähigkeit (OL), welche selbst unter Schutzgas innerhalb von Stunden nach der Präparation noch stark anwächst. Durch thermische Behandlung sinkt die OL, wobei deutlich ausgeprägte Stufen bei 130oC, 230oC und 380oC auftreten. Bei fixierter Temperatur laufen die Änderungen relativ langsam auf Minutenskala ab. Die zunächst nur geringfügig thermisch aktivierte OL zeigt dabei einen systematischen Trend hin zu stark aktiviertem Verhalten mit Energien bis zu 1.7 eV. Neben diesen eher ‘intrinsischen ‘Effekten findet man auch solche, die auf Oberflächenverunreinigungen, etwa durch Wasser, zurückzuführen sind und die sich deshalb unter Vakuum ausschalten lassen.