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DS: Dünne Schichten
DS 33: Postersitzung
DS 33.49: Poster
Tuesday, March 23, 1999, 09:30–17:30, Aula
Untersuchungen zur Lichtbogenablation im Gas in einer gepulsten Entladungszelle — •S. Sievers1,2, A. Usoskin1 und H.C. Freyhardt2 — 1Zentrum für Funktionswerkstoffe gGmbH, Windausweg 2, D-37073 Göttingen — 2Institut für Materialphysik, Universität Göttingen, Windausweg 2, D-37073 Göttingen
Die Dünnfilmdeposition mittels Lichtbogenablation diverser
Targetmaterialien hat sich als zu einem vielseitig eingesetzten
Verfahren entwickelt. Es wird hier eine Zelle vorgestellt, die bei
einfacher Bauweise eine gepulste Ablation von Targets bei Gasdrücken
von einigen mbar erlaubt. Dabei wird eine Plasmakeule ähnlich der
Laserkeule erzeugt. Der Einfluß eines Kühlens der Kathode auf 77 K auf
die Entladung wird diskutiert. Um den Abtragsprozeß zu verstehen,
wurden die mikroskopischen Mechanismen im Brennfleck des Lichtbogens
untersucht. Es werden auf allen untersuchten Targetmaterialien
mikroskopische Krater beobachtet, die sich zur Spur des makroskopischen
Brennflecks zusammensetzen. Die Ausbildung der Krater und die Dynamik
der Brennfleckausbildung beim gepulsten Bogen werden untersucht. Die
Struktur des im Brennfleck abgetragenen Bereichs sowie der Einfluß des
Stromstärkeverlaufs auf den Abtragsprozeß werden modelliert. Daraus
ergeben sich Möglichkeiten, die Tröpfchenverteilung in den deponierten
Filmen zu beeinflussen.
Diese Arbeit wurde gefördert vom BMBF und von Alcatel