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HL: Halbleiterphysik

HL 12: Poster I

HL 12.95: Poster

Monday, March 22, 1999, 14:00–18:00, Z

Bestimmung optischer Konstanten von Silizium-Dünnschichtsystemen — •V. Plunger und V. Schlosser — Institut für Materialphysik, Universität Wien, Strudlhofgasse 4, A-1090 Wien

Die Bestimmung optischer Eigenschaften von Halbleitern in einem breiten Wellenlängenbereich spielt im Verständnis des physikalischen Verhaltens eine wichtige Rolle. Im Rahmen dieser Arbeit werden Reflexions– und Transmissionsmessungen im Wellenlängenbereich von 190 bis 2600 nm an Siliziumdünnschichtsystemen durchgeführt. Diese Schichten, die von 200 bis zu 3000 nm dick sind, weisen eine verschiedenartige Kristallinität, von amorph, mikrokristallin bis zu einkristallin auf. Durch Modellieren von Vielschichtsystemen und Anpassung der Simulationsergebnisse an die experimentellen Daten können Dicke, Brechungsindex und Absorptionskoeffizient ermittelt werden, welche mit den Werten von kristallinem Silizium verglichen werden.