Münster 1999 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 23: Poster II

HL 23.30: Poster

Mittwoch, 24. März 1999, 14:00–18:00, Z

Reciprocal Space Mapping periodischer Versetzungsnetzwerke — •P. Kury¹, M. Horn-von Hoegen¹, M. Kammler², B.H. Müller², T. Schmidt³ und J. Falta³ — ¹Institut für Festkörperphysik, Universität Hannover — ²Institut für Halbleitertechnologie, Universität Hannover — ³HASYLAB am DESY, Hamburg

Die Integration von Ge-Strukturen auf Si-Substraten verspricht neuartige Bauelemente für Höchstfrequenzanwendungen. Relaxiertes Ge erfordert jedoch Versetzungen zur Anpassung an das 4.2% kleinere Si-Gitter, was im Idealfall über ein periodisches Netzwerk von Versetzungen in der Si/Ge-Grenzfläche geschieht. Dies kann durch die Verwendung von Surfactants in Kombination mit Si(111)-Substraten realisiert werden. Die elastischen Verspannungsfelder der Versetzungen modulieren lokal die Gitterkonstanten im Si und Ge mit einer Periodizität von 104 Å, was in der Röntgenbeugung zum Auftreten von Satellitenreflexen um die Braggreflexe führt. Aus deren Intensitätsabhängigkeit können die Fourierkomponenten und damit die 3-dim. Geometrie der periodischen Verspannungsfelder bestimmt werden. Die geringe Intensität der Satellitenreflexe macht die Untersuchung mit Synchrotronstrahlung erforderlich. Die quantitative Auswertung erfolgt über einen Vergleich der gemessenen reciprocal space maps, d.h. der Intensitätsverteilung der Bragg- und Satellitenreflexe mit kinematischen Simulationsrechnungen.