Münster 1999 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 23: Poster II

HL 23.99: Poster

Mittwoch, 24. März 1999, 14:00–18:00, Z

Integrierte Optik auf Silizium mit a-SiC:H Wellenleitern und optischen Bauelementen — •J. Niemann, J. Seekamp und W. Bauhofer — Arbeitsbereich Materialien der Mikroelektronik, Technische Universität Hamburg-Harburg, D-21071Hamburg

Die integrierte Optik auf Silizium ist ein Feld intensiver Forschung. In diesem Beitrag soll die Realisierung einer integrierten Optik auf Basis von a-SiC:H Wellenleitern vorgestellt werden. Diese Wellenleiter werden in einem RF-PECVD Prozeß und einer Substrattemperatur von 100^∘C bis 200^∘C aus Organosilanen abgeschieden. Ihre besonderen Photolumineszenzeigenschaften geben die Möglichkeit im Wellenleiter angeregtes Licht als Lichtquelle für die integrierte Optik zu verwenden. Dieses Licht kann durch optische Elemente wie Spiegel und Linsen, die aus gleichen Ausgangsmaterialien bei unterschiedlichen Prozeßbedingungen abgeschieden werden können, manipuliert werden. An zwei Systemen werden mögliche Anwendungen in der integrierten Optik und der Mikrosystemtechnik vorgestellt.