Münster 1999 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 5: Grenz- und Oberfl
ächen I

HL 5.8: Vortrag

Montag, 22. März 1999, 12:15–12:30, H4

Ortsaufgelöste Messungen von Oberflächen- und Volumeneigenschaften mit dem Lebensdauer-Meßverfahren ELYMAT — •J. Korallus, J. Carstensen und H. Föll — Technische Fakultät der CAU Kiel, Kaiserstr. 2, 24143 Kiel

Die Verwendung zweier Laser mit unterschiedlichen Eindringtiefen

(Zwei-Farben-Methode) erlaubt die getrennte Bestimmung von

Oberflächenrekombinationseigenschaften S und und Volumendiffusionslänge

L. Der mit einem gescannten Laserstrahl generierte Photostrom wird mit

Hilfe eines elektrochemischen Kontaktes ausgekoppelt (ELYMAT). Diese

hohe Qualität der elektrochemischen Kontakte und die einfache

Interpretierbarkeit der Meßergebnisse erlauben eine sehr präzise

Bestimmung von S und L aus einer Kombination von Photostrommessungen.

Die Ergebnisse für unterschiedliche Laserintensitäten zeigen eine