DPG Phi
Verhandlungen
Verhandlungen
DPG

Münster 1999 – scientific program

Parts | Days | Selection | Search | Downloads | Help

O: Oberflächenphysik

O 16: Teilchen und Cluster (I)

O 16.1: Talk

Tuesday, March 23, 1999, 11:15–11:30, S2

Einfluß von Nanopartikeln auf die Funktion von Hochtemperatursensoren — •Patrick Hoffmann1, Oliver Böhme1, Dieter Schmeißer1, Anita Lloyd Spetz2 und Per Mårtenson21BTU Cottbus
LS Angewandte Physik - Sensorik
Erich-Weinert-Str. 1
03046 Cottbus — 2Applied Physics
Linköping University
S-58183 Linköping, Sweden

Es werden Untersuchungen an als Hochtemperatur-Sensoren arbeitenden Schottky-Dioden mit dem Aufbau Metall-Oxidschicht-Siliziumkarbid vorgestellt. Dazu wurden Tiefenprofile mit XPS durch abwechselndes Abtragen durch Sputtern und Messen erstellt. Die Messungen erfolgten an thermisch unterschiedlich vorbehandelten Proben.
Dabei konnten dipol-bedingte Verschiebungen der Bindungsenergie von Rumpfniveaus beobachtet werden. Das dazu notwendige Dipol-Moment wird durch das Entstehen von mit einer Oxidschicht überzogenen Nanoteilchen erklärt.
Die unterschiedlich ausgeprägten Dipol-Verschiebungen auf den einzelnen Proben erlaubten eine Erklärung der thermischen Vorbehandlung, die bei Weglassen zu „frischen“ und je nach Temperatur zu „aktivierten“ oder „toten“ Sensoren führte.

100% | Mobile Layout | Deutsche Version | Contact/Imprint/Privacy
DPG-Physik > DPG-Verhandlungen > 1999 > Münster