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O: Oberflächenphysik

O 16: Teilchen und Cluster (I)

O 16.1: Vortrag

Dienstag, 23. März 1999, 11:15–11:30, S2

Einfluß von Nanopartikeln auf die Funktion von Hochtemperatursensoren — •Patrick Hoffmann¹, Oliver Böhme¹, Dieter Schmeißer¹, Anita Lloyd Spetz² und Per Mårtenson² — ¹BTU Cottbus
LS Angewandte Physik - Sensorik
Erich-Weinert-Str. 1
03046 Cottbus — ²Applied Physics
Linköping University
S-58183 Linköping, Sweden

Es werden Untersuchungen an als Hochtemperatur-Sensoren arbeitenden Schottky-Dioden mit dem Aufbau Metall-Oxidschicht-Siliziumkarbid vorgestellt. Dazu wurden Tiefenprofile mit XPS durch abwechselndes Abtragen durch Sputtern und Messen erstellt. Die Messungen erfolgten an thermisch unterschiedlich vorbehandelten Proben.
Dabei konnten dipol-bedingte Verschiebungen der Bindungsenergie von Rumpfniveaus beobachtet werden. Das dazu notwendige Dipol-Moment wird durch das Entstehen von mit einer Oxidschicht überzogenen Nanoteilchen erklärt.
Die unterschiedlich ausgeprägten Dipol-Verschiebungen auf den einzelnen Proben erlaubten eine Erklärung der thermischen Vorbehandlung, die bei Weglassen zu „frischen“ und je nach Temperatur zu „aktivierten“ oder „toten“ Sensoren führte.