Münster 1999 – wissenschaftliches Programm
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O: Oberflächenphysik
O 20: Rastersondentechniken (I)
O 20.1: Vortrag
Dienstag, 23. März 1999, 16:15–16:30, S2
Ortsaufgelöste Phasengeschwindigkeitsmessungen akustischer
Oberflächenwellen beliebiger Polarisation — •G. Behme, T. Hesjedal, E. Chilla und H.-J. Fröhlich — Paul-Drude-Institut für Festkörperelektronik, Hausvogteiplatz 5-7, D-10117 Berlin
Die Messung des Ausbreitungsverhaltens akustischer Oberflächenwellen (SAW) in Schichtsystemen und an Oberflächen liefert einen Zugang zur Bestimmung elastischer Eigenschaften. Die komplexen Zusammenhänge zwischen elastischen Konstanten und den SAW-Ausbreitungsparametern erfordern dabei die Messung unterschiedlich polarisierter Moden. Desweiteren ist eine hohe Ortsauflösung dieser Messungen wünschenswert, um Aussagen zu Eigenschaften auf mikroskopischen Skalen treffen zu können.
Die hier präsentierte Technik des Scanning Acoustic Force Microscope (SAFM) erlaubt die Messung von SAW Charakteristika mit der prinzipiellen Auflösung des Rasterkraftmikroskopes. Die Messung der Phasengeschwindigkeit beliebig polarisierter SAW’s wird mit einer Auflösung deutlich unterhalb der SAW-Wellenlängen möglich.
Es werden Messungen an Rayleigh-Typ- als auch an Love-Wellen am Schichtsystem Au/SiO2/ST-Quarz präsentiert. Letzterer Wellentyp ist transversal polarisiert und daher mit konventionellen Verfahren schwierig zu erfasssen. Die SAW-Geschwindigkeiten zeigen eine gute Übereinstimmung mit theoretischen Vorraussagen. Weiterhin wird der Einfluß elastischer Inhomogenitäten auf die Wellenausbreitung dargestellt.