Münster 1999 – wissenschaftliches Programm

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 2: Vakuumverfahrenstechnik I

VA 2.2: Hauptvortrag

Montag, 22. März 1999, 14:40–15:20, ZH

Nanolithographie — •Heinrich Kurz — Institut für Halbleitertechnik, TH Aachen, Sommerfeldstr. 24, 52074 Aachen

Die Erzeugung und Anwendung lateraler funktionaler Nanostrukturen ist das zentrale Thema eines neuen nationalen Kompetenzzentrums, das vom BMBF eingerichtet wurde. Brennpunkt sind neue Ansätze im industriellen Vorfeld für künftige Bauelemente der Informationstechnik. Die Herstellung dieser funktionalen Nanostrukturen erfolgt konventionell durch Nanolithographie (top down) oder basiert auf dem selbstorganisierten Wachstum (bottom up).

Im Vortrag werden die wichtigsten Verfahren der Nanolithographie skizziert und ihre Potentiale für verschiedene Anwendungen diskutiert. Anhand mehrerer Beispiele für Bauelemente der Informationstechnik werden die zukünftigen Anforderungen an die Nanolithographie präzisiert.