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K: Kurzzeitphysik

K 3: Lasersysteme

K 3.2: Fachvortrag

Tuesday, April 4, 2000, 14:30–15:00, HS XIV

Aktueller Stand der Entwicklung von Miniexcimerlasern — •Claus Strowitzki und Andreas Görtler — TuiLaser AG, Lochhamer Schlag 19, 82166 Gräfelfing

Miniexcimerlaser sind in den letzten Jahren vor allem für Applikationen in der Medizin entwickelt worden. Durch konsequente Weiterentwicklung werden inzwischen System- und Röhrenlebensdauern erreicht, die diese Systeme auch für den industriellen Einsatz tauglich machen. Repetitionsraten von 1 kHz werden durch die Verwendung von Festkörperschaltkreisen ermöglicht. Der Wellenlängenbereich zwischen 351 nm bis 157 nm wird abgedeckt.

Hauptanwendungsgebiete sind neben der Medizintechnik die Mikromaterialbearbeitung , die Materialprüfung und die Grundlagenforschung.

Es wird ein umfassender Überblick über den aktuellen Stand der Entwicklung bei Miniexcimerlasern gegeben sowie die derzeit erreichten Daten kommerzieller Laser vorgestellt.