Bonn 2000 – wissenschaftliches Programm
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P: Plasmaphysik
P 16: Plasmadiagnostik (Poster)
P 16.16: Poster
Mittwoch, 5. April 2000, 10:30–13:00, Aula
Thermosonden-Messungen im Afterglow einer Stickstoff- Entladung — •J. Berndt1, H. Kersten2, D. Douai1 und J. Winter1 — 1Institut für Experimentalphysik II, Ruhr-Universität Bochum, D-44780 Bochum — 2Institut für Physik Universität Greifswald , D-17487 Greifswald
In den letzten Jahren haben sich im Bereich der Oberflächenmodifizierung und der Schichtabscheidung eine Vielzahl von technischen Verfahren etabliert, die auf dem sog. cold remote plasma processing beruhen. Durch die räumliche Trennung zwischen Plasmazone und Substrat wird die, besonders für empfindliche Oberflächen, schädliche Einwirkung kinetischer Ionen auf das Substrat verhindert. Lediglich die im Plasma erzeugten reaktiven Neutralteilchen (Radikale, Atome) werden mit Hilfe eines Gasstromes in die Reaktionskammer transportiert, um dort mit dem Substrat in Wechselwirkung zu treten. Im vorliegenden Experiment wird der räumliche Afterglow einer oberflächenwellenerzeugten Stickstoffentladung (2.4 GHz) mit Hilfe einer Thermosonde charakterisiert. Aufgrund des gewählten Abstandes zwischen Plasmazone und Untersuchungskammer ist letztere als feld- und -ladungsträgerfrei zu betrachten. Der Wärmeeintrag auf die Thermosonde ist daher durch zwei verschiedene Faktoren bestimmt: Zum einen durch die Temperatur des Neutralgasstromes, zum anderen durch die Wechselwirkung aktiver Teilchen (angeregte Moleküle, Stickstoffatome) mit der Oberfläche der Sonde. Durch die gezielte Oxidation der Kupfersonde und damit durch die Änderung des Wandrekombinationskoeffizienten für atomaren Stickstoff konnte der Beitrag der Rekombinationswärme abgeschätzt werden. Gefördert vom SFB 191/B8.