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Bonn 2000 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 16: Plasmadiagnostik (Poster)

P 16.2: Poster

Mittwoch, 5. April 2000, 10:30–13:00, Aula

Einfluß der Geometrie auf das Entladeverhalten von Mikroentladungen — •Oliver Bilwatsch1, Uwe Ernst1, Shlomo Ish-Shalom1, Leopold Dieter Biborosch2 und Klaus Frank11Physikalisches Institut 1, Erwin-Rommel-Str. 1, 91058 Erlangen — 2A1.I Cuza- University, Department of Plasma Physics, bd. Copou No. 11; 6600 Iasi, Romania

Die sogenannte Mikrohohlkathodengeometrie besteht aus zwei dünnen Elektroden (< 1mm), die durch einen Isolator ähnlicher Dicke getrennt sind. Die Hohlkathode wird in dieser Anordnung durch eine axiale Bohrung realisiert. Durch die Reduzierung des Durchmessers der Kathodenbohrung in den Submillimeterbereich können stabile DC Glimmentladungen bei Drücken bis zu einer Atmosphäre betrieben werden. Durch den großen Anteil an hochenergetischen Elektronen bei gleich/- zeitig hohem Druck eignen sich Mikrohohlkathodenentladungen in Edelgasen als effiziente Quelle von VUV- bzw. Eximerstrahlung. In dieser Arbeit wurde nun die Entladegeometrie hinsichtlich des Lochdurchmessers der Kathode, der Dicke der Elektroden und des Isolators systematisch variiert und der Einfluß auf das elektrische und optische Verhalten des Entladeplasmas untersucht. Weiterhin werden elektrische und optische Messungen einer Mikroentladung mit planer Kathode vorgestellt. (gefördert durch den DAAD, die DFG FR1273 und der Siemens AGZT EN3, Zentralabteilung Technik, Erlangen)

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