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DS: Dünne Schichten

DS 3: Harte Schichten III (c-BN)

DS 3.2: Fachvortrag

Monday, March 27, 2000, 11:15–11:30, H31

Laserpulsabscheidung und Charakterisierung von Bornitridschichten — •Steffen Weißmantel und Günter Reiße — Hochschule Mittweida, Technikumplatz 17, 09648 Mittweida

Hexagonale und kubische Bornitridschichten wurden durch Excimerlaserablation eines Bornitridtargets auf Si und WC-Hartmetallsubstrate abgeschieden und hinsichtlich ihrer strukturellen, optischen und mechanischen Eigenschaften untersucht. Während ohne zusätzlichen Ionenbeschuß der aufwachsenden Schicht ausschließlich die hegaxonale Phase entsteht, erfolgt bei genügend starkem Ionenbeschuß die Nukleation der kubischen Phase auf der hexagonalen Phase. Ein Weiterwachsen der kubischen Phase ist dann bei geringem, zur Einstellung der Schichtstöchiometrie notwendigen, Ionenbeschuß mit Aufwachsraten von bislang 30 nm/min möglich. Durch gezieltes Einfügen einer zusätzlichen hexagonalen Zwischenschicht kann die Haftfestigkeit der kubischen Schichtphase wesentlich erhöht werden. Die Herausbildung von Schichtspannungen während des Schichtbildungsprozesses wurde in-situ untersucht.