Regensburg 2000 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 2: Symposium: Photonische Kristalle

HL 2.2: Fachvortrag

Montag, 27. März 2000, 11:00–11:30, H17

Photonische Kristalle aus makroporösem Silizium — •Frank Müller, Albert Birner, Jörg Schilling, Ralf Wehrspohn und Ulrich Gösele — MPI für Mikrostrukturphysik, Weinberg 2, 06120 Halle

Beim elektrochemischen Ätzen von n-Typ Silizium unter Rückseitenbeleuchtung bilden sich Poren im Mikrometermaßstab, die senkrecht in das Substrat hinein wachsen. Durch die lithographische Definition von Porenkeimen lassen sich mit dieser Methode regelmäßig angeordnete Porenanordnungen erzeugen mit sehr hohem Aspektverhältnis. Die gute Qualität der Oberflächen und die Möglichkeit durch Auslassen von Poren gezielt Defekte einzubauen, machen aus diesem Material ideale zweidimensionale photonische Kristalle [1]. Wir zeigen die Ergebnisse von optischen Transmissionsmessungen an Kristallen mit und ohne Defekten für ein hexagonales Gitter mit einer Periode von 1,5 µm sowie neue Ergebnisse für Porenstrukturen mit einer Periode von 0,5 µm. Die Messungen stimmen sehr gute mit theoretischen Berechnungen überein

[1] A. Birner, U. Grüning, S. Ottow, A. Schneider, F. Müller, V. Lehmann, H. Föll, and U. Gösele, Phys. Stat. Sol. (a) 165, 111 (1998)